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FLEXI-FLOW緊湊型FF-M10和FF-M11緊湊型質(zhì)量流量/壓力計(jì)適用于在真空和17bar（a）之間的工作壓力下測(cè)量0…500 mln/min和0…20 ln/min之間的流量范圍。該儀器結(jié)合了基于毛細(xì)管MEMS技術(shù)的快速穩(wěn)定的熱質(zhì)量流量傳感器和準(zhǔn)確可靠的旁路結(jié)構(gòu)。由于獨(dú)特的TCS技術(shù)（通過(guò)芯片傳感器），建立了與溫度和管路壓力變化無(wú)關(guān)的準(zhǔn)確質(zhì)量流量測(cè)量。結(jié)合集成的溫度和上下游壓力傳感器，22種氣體的嵌入式數(shù)據(jù)庫(kù)可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的車(chē)載轉(zhuǎn)換。多參數(shù)儀表為用戶提供有用的過(guò)程信息：
-型號(hào)FF-M10：流量+溫度
-型號(hào)FF-M11：流量+溫度+上下游壓力
產(chǎn)地：荷蘭
流量范圍（可用的中間范圍）：min.0…500mln/min
Max.0…20 ln/min（基于N2）
壓力范圍：FF-M10：不可用/FF-M11：0…17 bar（a）
精度（包括線性度）（基于實(shí)際校準(zhǔn)）：高達(dá)±0,5%Rdplus±0,1%FS（N2/空氣/O2）；
對(duì)于其他氣體，增加轉(zhuǎn)換不確定性；
重復(fù)性
流量傳感器：<±0,2%Rd；
壓力傳感器：<±0,2%FS
減速比：高達(dá)1:1000
工作壓力：max.16 bar g
22種獨(dú)特氣體以及這些氣體的任何混合物的多氣體/多量程嵌入式氣體數(shù)據(jù)
響應(yīng)時(shí)間（傳感器）：<30 ms（T63）
3年內(nèi)長(zhǎng)期穩(wěn)定性：<0,5%FS；每年<0,2%FS
安裝：任何位置，姿態(tài)靈敏度可忽略不計(jì)
溫度傳感器靈敏度：zero00015%FS/ºC；span0,03%Rd/ºC；
壓力傳感器靈敏度：zero0,16 mbar/ºC；span0,05%Rd/ºC
溫度精度：±0,2ºC（儀器本體溫度）
壓力傳感器精度：±0,5%FS
壓力敏感度（標(biāo)準(zhǔn)）：<0,15%Rd/bar，典型N2；
壓力校正：<0.02%Rd，典型N2
泄漏完整性，外側(cè)測(cè)試：<2 x 10-9mbar l/s He
機(jī)械部分
儀表本體：鋁或不銹鋼（可選）
材料（接液部件）：鋁、不銹鋼、氮化硅、環(huán)氧樹(shù)脂、氧化鋁、玻璃
表面質(zhì)量：<1.6μRa（不銹鋼閥體<0.8μRa）
壓力等級(jí)（PN）：16 bar（g）/250 psig
工藝連接可選：壓縮式、推入式或端面密封聯(lián)軸器
密封件默認(rèn)值：FKM 51415；
其他材料：請(qǐng)聯(lián)系工廠
重量：200 g，鋁閥體，300 g，不銹鋼316閥體
防護(hù)等級(jí)：IP40
電氣特性
電源：24 Vdc±10%
功耗：max.0,35W
數(shù)字通信：Modbus RTU或FLOW-BUS（可選）
支持USB-C接口，便于設(shè)置；
用于監(jiān)控的可選藍(lán)牙連接
電氣連接：9針D-sub（公頭）
電話： 0755-83233703
